半導(dǎo)體是用水大戶,半導(dǎo)體廠商通過與供應(yīng)商合作匹配新技術(shù)來驅(qū)動水資源利用率提升,有助于提高用水效益,降低用水成本,提升半導(dǎo)體廠發(fā)展的可持續(xù)性。正因如此,近年來,越來越多半導(dǎo)體企業(yè)加大了在能源效率和可持續(xù)發(fā)展方面的投入。
半導(dǎo)體工廠可持續(xù)衡量指標(biāo)原則包括7個一級指標(biāo),其中之一就是水資源利用率。這和長期以來半導(dǎo)體耗水量多且水資源利用率相對不高有很大關(guān)系。
半導(dǎo)體的制造過程需要運用大量的超純水來維持元件的潔凈度,以確保產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。同時,隨著器件結(jié)構(gòu)日益微小化,晶圓清洗技術(shù)的要求越來越高,相應(yīng)的用水量也會大幅增加。以一個產(chǎn)能為4萬片每月的200mm晶圓廠為例,每天大約需要8000-10000噸水,其中70%用于生成超純水。而到了16nm、7nm工藝后,同樣產(chǎn)能為4萬片的12英寸晶圓廠,每天的用水量將增加到大約20000噸。考慮到晶圓廠通常的產(chǎn)能是每月數(shù)萬片甚至數(shù)十萬片,其耗水量可謂相當(dāng)驚人。

我國半導(dǎo)體行業(yè)近年來的發(fā)展速度舉世矚目,但和美日等國家相比,水資源利用效率相對較低。比如,與美國相比,中國用水量是美國的三倍,水資源利用率亟待提升。而通過采用超純水工藝及可循環(huán)回收方案,可以幫助企業(yè)提高水循環(huán)利用率,實現(xiàn)節(jié)水節(jié)能,提升節(jié)流效益,并減少對水資源的過度依賴,從而實現(xiàn)可持續(xù)發(fā)展目標(biāo)。
超純工藝助力半導(dǎo)體節(jié)能降本增效
作為具有代表性的超純水生產(chǎn)工藝技術(shù)廠家,萊特萊德積極尋求水處理的技術(shù)突破,致力于為半導(dǎo)體制造等行業(yè)客戶提供超純水與循環(huán)再生解決方案及裝備。
萊特萊德超純水設(shè)備可根據(jù)客戶對水質(zhì)的具體要求,采用反滲透、EDI、拋光混床等超純水生產(chǎn)工藝的不同組合,生產(chǎn)出既經(jīng)濟實用,又能滿足客戶要求的超純水。擁有多項超純水專用膜核心技術(shù),針對高精密機械、硅片、科研儀器等產(chǎn)品清洗用水制備,為用戶提供優(yōu)質(zhì)的超純水!






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