半導(dǎo)體集成電路封裝制作過(guò)程中會(huì)對(duì)晶片進(jìn)行切割和研磨,并且會(huì)運(yùn)用超純水進(jìn)行洗凈,這樣就發(fā)生了少量的切割研磨廢水。研磨廢水中含有高濃度以各種情況存在的細(xì)小的研磨含硅顆粒物、化學(xué)藥劑、超純水以及金屬離子物質(zhì)。該半導(dǎo)體研磨廢水的危害性是顯而易見的。
目前國(guó)內(nèi)大部分的廠家是采取加藥混凝積淀和濾袋過(guò)濾方法處理的,出水到達(dá)污水綜合處理達(dá)標(biāo)排放的規(guī)范。有一些廠家盡管是采取膜法過(guò)濾處理廢水,但膜梗塞重大,清洗頻繁,少量使用化學(xué)藥劑,運(yùn)行成本昂揚(yáng)。半導(dǎo)體研磨廢水回用的處理方法有很多,由于半導(dǎo)體廢水處理技術(shù)的應(yīng)用和發(fā)展,使其工藝得到不斷改進(jìn),工藝更加緊湊,處理效率得到提高。

研磨廢水回用處理方法:
(1)通過(guò)廢水搜集箱搜集硅片研磨發(fā)生的廢水;
(2)應(yīng)用水泵將廢水泵入多介質(zhì)過(guò)濾器進(jìn)行第一次過(guò)濾;
(3)將經(jīng)過(guò)第一次過(guò)濾的水送入保安過(guò)濾器進(jìn)行第二次過(guò)濾;
(4)將經(jīng)過(guò)第二次過(guò)濾的水送入膜過(guò)濾設(shè)備中進(jìn)行深度處理并回用。
萊特萊德在廢水回收領(lǐng)域深耕多年,根據(jù)研磨廢水的特性,合理制定處理工藝。預(yù)處理工藝搭配膜法分離系統(tǒng),對(duì)研磨廢水的處理效果明顯,降低后續(xù)膜系統(tǒng)的清洗頻率,保證膜系統(tǒng)的長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。
萊特萊德廢水回用設(shè)備總回收率大于75%,廢水通過(guò)廢水回收系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了循環(huán)利用,因此可節(jié)約75%以上廢水排污費(fèi)用。廢水回收系統(tǒng)采用特殊膜分離新技術(shù),工藝簡(jiǎn)單,運(yùn)行穩(wěn)定可靠,處理效率高。廢水回用系統(tǒng)不僅能有效地節(jié)約有限的水資源,從而減輕對(duì)水資源的消耗,緩解日趨突出的用水緊張矛盾,而且能減少污水的排放,減輕對(duì)周圍水體的污染,改善人類居住環(huán)境。






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